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반도체 · 전자
미세 신호의 마이크로초급 수집과 품질 추적
반도체 팹의 미세 신호를 마이크로초급으로 수집하고, 이상 신호와 수율 저하를 조기에 추적합니다. SECS/GEM 표준을 지원합니다.
수율은 미세 신호에 먼저 나타납니다. 팹 장비를 SECS/GEM 표준으로 직결하고 클린룸의 작은 드리프트까지 시계열로 축적하면, 수율 저하의 전조를 데이터가 먼저 알려줍니다.
A 현장의 과제
초고빈도 미세 신호 수집
수율 저하 원인 추적
클린룸 환경 모니터링
장비 반출 불가 데이터의 온프레미스 처리
B PlantPulse의 해법
SECS/GEM 수집
반도체 장비 표준 SECS/GEM(SEMI E5/E30/E37)으로 팹 장비를 직접 연결합니다.
고빈도 엣지 처리
엣지에서 미세 신호를 고속 수집하고 파생 지표를 즉시 계산합니다.
수율 예측·이상탐지
AI 예측과 이상탐지로 미세 이상과 수율 저하를 조기에 잡습니다.
클린룸 시계열 분석
환경 센서의 장기 추세를 기준선과 비교해 미세 드리프트와 열화 징후를 조기에 포착합니다.
공정-로트 추적성
온톨로지로 공정-로트-설비 이력을 연결해 품질 이슈의 영향 범위를 역추적합니다.
유틸리티 피크 감시
클린룸 공조·압축공기 등 유틸리티 피크를 상시 감시하고 임계 접근을 사전 알람으로 알립니다.
SECS/GEM
SEMI E5·E30·E37 표준
㎲급
미세 신호 수집 해상도
512K
CEP 이벤트/초
24/7
클린룸 상시 감시
C 적용 시나리오
장비를 SECS/GEM 호스트 표준으로 직결해 이벤트·상태·미세 신호를 표준 수집합니다.
장비 직결 표준 수집
환경 센서와 설비 신호를 하나의 시계열 기반으로 묶어 미세 변화의 하류 영향을 분석합니다.
미세 이상 조기 인지
이기종 조립·검사 설비를 통합 수집하고 로트별 품질 이력을 추적합니다.
수율 저하 원인 추적 가속
C 기대 성과
- 미세 이상 조기 감지
- 수율 예측
- 품질 추적
D 자주 묻는 질문
장비사 협조 없이도 연결할 수 있나요?
SECS/GEM 표준을 지원하는 장비는 호스트 연결로 직접 수집합니다. 표준 미지원 설비는 PLC·센서 신호를 42종 드라이버로 수집하는 방식을 병행합니다.
팹 데이터를 외부로 보내야 하나요?
아니요. 플랫폼과 AI 모두 온프레미스로 동작해 데이터가 사이트 밖으로 나가지 않습니다. 반출 불가 정책이 있는 팹에서도 적용 가능합니다.
고빈도 수집이 장비 운영에 부하를 주지 않나요?
SECS/GEM 호스트 통신 규격을 준수하며 폴링 주기를 장비별로 조정합니다. 미세 신호의 전처리·파생 계산은 엣지에서 수행해 상위 부하를 줄입니다.